Хорунжий Д.Н., Яцышен В.В. Оптический интерференционный метод диагностики параметров тонких пленок как основа бесконтактной термометрии
НБИ ТЕХНОЛОГИИ
Хорунжий Д.Н., Яцышен В.В. Оптический интерференционный метод диагностики параметров тонких пленок как основа бесконтактной термометрии