Хорунжий Д.Н., Яцышен В.В. Оптический интерференционный метод диагностики параметров тонких пленок как основа бесконтактной термометрии
Хорунжий Д.Н., Яцышен В.В. Оптический интерференционный метод диагностики параметров тонких пленок как основа бесконтактной термометрии